Fabmatics

Bereits seit 2013 kooperieren wir erfolgreich mit Fabmatics, einem Spezialisten für die Automatisierung von Materialflüssen in Halbleiterfabriken und anderen hochtechnisierten Produktionsumgebungen. Eines der Vorzeigeprodukte von Fabmatics ist der HERO FAB, ein omnidirektionaler Manipulator, der vollautonom Waferkassetten handhaben und transportieren kann. Der HERO FAB ist in zwei Versionen für 200 mm und 300 mm Wafer erhältlich, die beide auf den Neobotix OmniDriveModules aufbauen.

Die Ansteuerung und Bewegungsplanung sowie die Kartierung, Lokalisierung und Routenplanung wird ebenfalls von Neobotix übernommen. Dazu kommt PlatformCtrl zum Einsatz, die industrielle Steuerungssoftware für autonome mobile Roboterplattformen, die seit 2022 schrittweise durch PlatformPilot abgelöst wird.

Die Arbeit im Reinraum ist außergewöhnlich fordernd und belastend, sowohl für Menschen als auch für Roboter. Während die Mitarbeiter vor allem unter der ungewohnten Beleuchtung, der trockenen Luft und der Spezialkleidung leiden, ist von den Maschinen vor allem allerhöchste Zuverlässigkeit gefragt.

Die autonomen mobilen Roboter müssen sich in den riesigen Fabs jederzeit orientieren können und ihren Weg durch schmale und verwinkelte Gänge finden, zwischen unbezahlbaren Maschinen und Anlagen und im Zusammenspiel mit hoch qualifizierten Spezialisten. Außer den OmniDriveModules, die in jeder Situation für die gleitende und erschütterungsfreie Bewegung des HERO FAB sorgen, enthalten die von Fabmatics entwickelten Roboter noch spezielle Akku- und Ladetechnik, verschiedenste Roboterarme, umfassende Sensorik und Sicherheitstechnik und eine komplexe Ablauf- und Flottensteuerung.

Dank ihrer Leistungsfähigkeit sind mittlerweile mehr als 100 der omnidirektionalen HERO FAB bei allen großen Playern der Halbleiterindustrie weltweit im Einsatz, von Dresden über die USA bis nach Taiwan.

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